解决方案
全球液晶组件产业的竞争日趋激烈,因此,布局新兴应用市场和技术,如AMOLED和LCD,成为面板大厂未来发展的重点方向。尤其AMOLED 即将大量应用在高端产品上,特别是苹果公司将在新一代iPad Pro上使用AMOLED显示器,预计将会产生推波助澜的效果。
然而从制造一般LCD到AMOLED,首先将会面临精度和准度的问题,因为与一般面板检测技术相比,AMOLED要求的精度更高, 现有设备常因硬件的限制,无法有效地达到所需的标准,因此,怡信光电科技特别推出2D误差补偿技术,通过2D空间补偿调整设备,以达到所需的精度和准度。
采用2D补偿技术提高精度和准度
在制造过程中,传动组件扮演着关键的角色,如果应用在半导体行业的传动组件精准度不够, 会导致生产时的机械手臂或者导轨上的装置,在移动时“差之毫厘”,导致组装、加工的位置产生偏移,从而让精度要求动辄在几微米的生产过程“失之千里”,因此需要将误差控制在微米等级。例如XY滑台在微距移动的实际应用中,常常因为真直度差而产生蛇行幅动的状况,而真直度较差 的来源可能包含组装误差、螺杆精度和校正手法。
XY滑台只有移动轴的自由度,若导轨加工不良、组装不良,会造成角度的误差,从而机台在组装时造成空间误差,所以必须量测出角度的误差, 知道误差后就可以补偿,进而降低误差。
2D误差补偿技术应用于高精度液晶面板检测流程
以高精度液晶面板检测为例,高精度液晶面板检测要求的精度很高,组件间的间距很小,但常因为硬件的限制,无法很有效地达到所需的精度,所以需要依靠2D误差补偿来做细微的调整。
怡信光电科技2D误差补偿技术,如果使用者想要依据测量计算的结果补偿X与Y方向的 位置,需要先建立在对应的坐标上,对X轴向与Y轴向需补偿的位置值,并提供控制器相关的设定值,包含距离间距与补偿。
2D误差补偿架构
开启误差补偿功能后,测量工作中,龙门型测量仪控制器的轴控制器中输出的位置命令会叠加需要补偿的位移量,以消除测量出的已知的误差量。
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